国产LED芯片制造设备在扬州启航

来源：  作者：Cef114.Com  发布：2013-10-31  点击：

 作为经济技术开发区的特色产业集群之一，扬州LED照明产业如今已叫响全国。但LED芯片生产过程中，最为重要的制造设备—MOCVD因其设备技术难度高、开发周期长等原因，长期被欧美企业所垄断，严重制约了国内LED行业的发展。日前，记者从开发区了解到，由理想能源设备（上海）有限公司开发的国产MOCVD设备在江苏璨扬光电有限公司调试，已经正式投入试量产。这意味着LED设备的国产化又向前迈进了一大步。

　　MOCVD作为生产高亮度LED芯片的最关键设备，可以说，它将决定一个LED灯的亮度。“目前，我国LED产业迅速崛起，但因为MOCVD设备依赖AIXTRON、VEECCO等欧美品牌，成本居高不下，制约着LED产业的发展。”理想能源设备（上海）有限公司副总裁、MOCVD总经理奚明博士介绍，自2010年公司MOCVD研发团队开始研发，经过两年时间，到2012年12月，具有国际尖端技术水平的首台MOCVD设备下线，国产MOCVD迈出了第一步。

　　国产MOCVD究竟怎么样？近日，记者在璨扬光电的厂房里看到，技术人员正对国产MOCVD设备进行调试，准备正式投入量产。“目前的测试结果都不错，均匀性、硬件稳定性基本都已达到进口设备的水平。”璨扬副总经理许育宾介绍，理想能源的MOCVD已具有目前业界最高的单腔产能，90片(2英吋)/批次，具有最低的单片外延生产成本，同时具有良好的波长均匀性及大规模外延生产所需的各项关键性能。

　　据悉，理想能源首台MOCVD设备发运至璨扬光电后，璨扬光电按照大规模外延生产的要求，对理想能源的MOCVD设备进行了各项设备性能和外延制程的测试和验证。双方结合理想能源设备的特点，进一步调试和优化了外延工艺和LED性能。许育宾说，在此基础上，璨扬光电对理想能源的MOCVD设备又进行了外延量产的可靠性、稳定性和重复性等方面的评估，这将最终决定该设备正式投入到璨扬光电的生产线进行量产。

　　为什么会有这次两岸合作？“理想能源产能大、使用成本低是最大的优势。”许育宾介绍，为了更好地调试设备，理想能源方面还派遣专家长期“驻扎”璨扬。

　　据了解，目前璨扬光电除了正在调试的理想能源MOCVD之外，共有37台MOCVD设备，均来自国外进口品牌。许育宾透露，年底理想能源的MOCVD将正式投入量产。