[军工]中航推出新型惯性传感器

来源：  作者：Cef114.Com  发布：2014-02-02  点击：

　　基于MEMS技术的惯性传感器，采用基于半导体晶片制作的工艺，具有类似IC工业适合大批量生产、体积小、重量轻、价格低、可靠性高及易于集成等显著特点。

　　自控所作为国内惯性传感器的主要研制生产单位，近年来自主研发的MEMS惯性传感器，如MEMS压力传感器、MEMS加速度计、MEMS陀螺等，采用设计、工艺、测试及封装的数字化、一体化及流程化的新模式，并凭借自身在惯性器件领域的经验和优势，突破了产品工程化应用的技术瓶颈。自控所采用体硅工艺制作的MEMS惯性传感器，不同于采用面硅工艺制作的低精度商用传感器，具有精度高、抗干扰能力强等特点，适用于战术级中、高端军事应用，因此颇具神秘色彩。

　　而MEMS加速度计采用了传感器芯片与接口电路二次集成的封装方式，既保证了产品精度，又缩小了产品体积(大小不及一个一元硬币)。其独特的双腔体结构设计、低应力表头芯片粘接方式及金属壳体密封等封装技术，有效地解决了温度、应力以及电磁信号对加计输出性能的影响，精度优于5×10-4g。

　　MEMS陀螺采用传感器芯片与模拟、数字ASIC电路高集成度封装的方式。全解耦的传感器结构设计、微弱信号检测技术及高集成度封装技术，保证了陀螺在工程应用环境下的输出性能。

　　MEMS惯性传感器可谓小身材大用途，能广泛应用于战术导弹、智能弹药、制导炮弹、弹射座椅、微型军用机器人、微小型飞行器及纳米卫星控制等领域。现在自控所自主研制的MEMS航姿系统已成功在弹射座椅上进行了多次试验。
新闻引读
关于自控所：
　　西安飞行自动控制研究所（FACRI）建于1960年，位于西安市高新技术开发区电子产业园区。现有职工2900余人，其中工程技术人员1500余人。是我国航空工业导航、制导与控制（GNC）技术研发中心，集产品设计、开发、生产、服务于一体，用户涉及多个行业和军兵种，形成了横向覆盖歼击机、运输机、轰炸机、直升机、无人机、导弹等多类飞行器，纵向从零部件制造到系统集成，技术继承性兼顾“生产一代、改进一代、研发一代、探索一代”的产品谱系。拥有飞行控制和惯性导航两个航空科技重点实验室，飞行器控制一体化技术重点实验室。设有“精密仪器及机械”专业硕士点、“导航、制导与控制”专业硕士点和博士点，2001年经国家人事部批准建立了博士后科研工作站。近年来，我所在民用航空、非航空领域积极拓展市场，承担民机装备研制、转包生产、产品维修、地面检测设备研制等业务。西安飞行自动控制研究所真诚希望与海内外各界朋友开展广泛地合作与交流。